ПРОЛИТ - PROLITH

ПРОЛИТ (бастап қысқартылған Pоңай Resist Oпитикалық LITHография) а компьютерлік тренажер модельдеу оптикалық және химиялық аспектілері фотолитография. Крис Мак Фотолитография саласында жұмыс істей бастағаннан кейін PROLITH-ті дамыта бастады NSA 1983 ж.

PROLITH алғаш рет ан IBM PC. Бағдарламалық жасақтама жүзеге асырылған модельдер жасаған жұмыстарға негізделген Рик Дилл кезінде IBM және Энди Нейтер кезінде Беркли сияқты Крис Мактың өз үлестерімен бірге Mack моделі.

Бастапқыда PROLITH тегін берілді, ал NSA Крис Мактың жалақысын төлеп жатты.[1][2] 1990 жылы PRINITH коммерциализациясы үшін FINLE Technologies құрды. Бағдарламалық жасақтаманың PROLITH / 2 деп аталатын алғашқы коммерциялық нұсқасы сол жылдың маусым айында шыққан. PROLITH қолдануды жеңілдетіп, литографияны модельдеудің көптеген аспектілерін қамтыды.

FINLE Technologies 2000 жылдың ақпанында сатып алды KLA-Tencor, қазір PROLITH-ті сатады.

Әдебиеттер тізімі

  1. ^ «Литографияны модельдеудің 30 жылы - Крис Мактың литографияны модельдеудегі прогресс және PROLITH туралы есебі» (PDF).
  2. ^ «Крис Мактың түйіндемесі».

Сыртқы сілтемелер