Никель моносилициді - Nickel monosilicide

NiSi
FeB құрылымы 2.png
Идентификаторлар
3D моделі (JSmol )
Қасиеттері
NiSi
Молярлық масса86,778 г / моль
Құрылым[1]
Орторомбиялық, oP8
Пнма, № 62
а = 0,519 нм, б = 0,333 нм, в = 0,5628 нм
4
Өзгеше белгіленбеген жағдайларды қоспағанда, олар үшін материалдар үшін деректер келтірілген стандартты күй (25 ° C [77 ° F], 100 кПа).
Infobox сілтемелері

Никель моносилициді болып табылады металлургиялық құралған қосылыс никель және кремний. Басқалар сияқты никель силицидтері, NiSi-дің мәні өте зор микроэлектроника.

Дайындық

Никель моносилицидін никель қабатын кремнийге түсіру арқылы және одан кейін дайындауға болады күйдіру. Қалыңдығы 4-тен жоғары Ni пленкаларына қатыстынм, қалыпты фазалық ауысуды Ni береді2250 ° C-та Si, содан кейін 350 ° C-та NiSi және NiSi2 шамамен 800 ° C.[2]

Қалыңдығы 4 нм-ден төмен ультра жіңішке никель пленкалары үшін никельді моносилицид 230 ° C - 290 ° C төмен жасыту температурасында түзіледі.[3]

Қолданады

Бірнеше қасиеттер NiSi-ді микроэлектроника саласындағы маңызды жергілікті байланыс материалы етеді, олардың арасында азаяды жылу бюджеті, төмен кедергісі 13-14 мкм · см және альтернативті қосылыстармен салыстырғанда Si шығыны азаяды.[4]

Әдебиеттер тізімі

  1. ^ Воперснов В., Шуберт К. (1976) Z. Metallkd., 67, 807–810
  2. ^ d'Hurle, F. M .; Газ, П. (ақпан 1986). «Силицидтердің пайда болу кинетикасы: шолу». Материалдарды зерттеу журналы. 1 (1): 205–221. дои:10.1557 / JMR.1986.0205. ISSN  2044-5326. Мұрағатталды түпнұсқасынан 2020-10-17 жж. Алынған 2020-10-16.
  3. ^ Тран, Туан Т .; Лавуи, христиан; Чжан, Чжен; Приметхофер, Даниэль (қаңтар 2021). «Ультра жіңішке никель силицидін қалыптастыру кезіндегі құрамы мен құрылымын нанокөлемдік сипаттама». Қолданбалы беттік ғылым. 536: 147781. дои:10.1016 / j.apsusc.2020.147781. S2CID  219981123. Мұрағатталды түпнұсқасынан 2020-10-17 жж. Алынған 2020-10-16.
  4. ^ Лавуи, С .; d’Hurle, F.M .; Детавернье, С .; Кабрал, C. (қараша 2003). «CMOS технологиялары үшін никель силицидтік процесін іске асыру жолында». Микроэлектрондық инженерия. 70 (2–4): 144–157. дои:10.1016 / S0167-9317 (03) 00380-0. Мұрағатталды түпнұсқасынан 2018-07-03. Алынған 2020-10-16.